光学仪器及设备-LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻生产线-青岛天仁微纳科技有限责任公司-产品详情

LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻生产线

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品牌：

天仁微纳

型号：

LED图形化蓝宝石衬底纳米压印光刻生产线

关注度：

141

产品介绍

LED (n)PSS Cluster是一种专门为图形化蓝宝石衬底（PSS/nPSS）量产开发的纳米压印光刻生产线，可实现2、4、6英寸(n)PSS结构纳米压印工艺全自动生产。

该设备采用模块化设计，集成工作模具复制单元和纳米压印光刻生产单元。工作模具复制单元支持从晶圆级母模具表面自动复制柔性工作模具，工作模具具有精度高，寿命长等特点，可以显著降低大面积纳米压印量产中模具使用成本。纳米压印光刻生产单元支持工作模具自动更换，全自动上下片、压印、曝光、脱模，整个生产过程在密闭洁净环境中进行，以保证压印结果质量。

LED (n)PSS Cluster纳米压印光刻生产线专门为图形化蓝宝石衬底大规模量产细节优化，具有设计紧凑，占地面积小，全自动生产流程，稳定一致性好，多工位平行生产，产能高等特点。

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