UniPrinter是一种专门为大学、科研院所和企业产品研发所设计，操作简单、功能强大的台面型纳米压印光刻设备。

可实现4英寸以下晶圆面积上高精度（优于10nm *）、高深宽比（优于10：1 *）纳米结构压印，适合用作紫外纳米压印光刻工艺开发，器件原型快速验证，纳米压印材料测试等研发。它沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系，在该设备上开发的工艺可以无障碍转移到天仁微纳量产设备上进行生产。 UniPrinter纳米压印设备适用于DOE、AR/VR衍射光波导（包括斜齿光栅）、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED等应用领域的研发。

主要功能

• 沿用天仁微纳量产型纳米压印设备的工艺与材料体系，开发的工艺可以无障碍转移到量产设备上进行生产；

• 直径100mm以下晶圆高精度、高深宽比结构纳米压印光刻；

• 设备内自动复制柔性复合工作模具；

• 自动压印、自动曝光固化、自动脱模，工艺过程无需人工干预；

• 标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>300mW/cm2），**支持各种纳米压印材料；

• 随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程，帮助客户零门槛达到国际**的纳米压印水平。