粉体行业在线展览
100mm
面议
百举捷
100mm
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产品描述:
本系统为手套箱和真空镀膜机集成在一起的设备,适合哪些对水氧敏感的材料研究,在钙钛矿电池,燃料敏化电池,超导,核工业等领域有广泛应用。
产品优势:
1.手套箱可集成磁控溅射镀膜机;
2.手套箱可集成电子束蒸发镀膜机;
3.手套箱可集成热阻蒸发镀膜机;
4.手套箱可集成ALD镀膜机;
5.结构优化,操作方便;
6.真空度可达到5*10-6Pa;
7.样品台加热水冷可选;
8.其他结构可定制。
技术参数
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
ESC‑500
Gasboard-2060
等离子化学气相沉积系统-PECVD
自动划片机