产品概述
　　利用磁控溅射方法制备纳米级单层和多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料。工艺性能稳定、模块化结构，采用行业**的软件控制系统，明显提高效率。可广泛应用于大专院校、科研院所、工厂企业薄膜材料的科研项目。
产品优势：
　　1、 U型前开门结构，便于装样、维护；
　　2、公自转一体的行星架能放置更多样品，镀膜更均匀；
　　3、阳极层离子源清洗获得更大的膜基结合力；
　　4、溅射气压控制30秒以内完成；
　　5、具有手动和自动两种功能；
　　6、具有远程控制功能。

技术参数